1、在高温环境下变形量小，晶片装载量大;

2、耐极冷急热，使用寿命长;

3、悬臂浆热膨胀系数极小，极大地延长了维护清洗的周期；并大幅减少污染物；

4、长度从1500-4000mm都可以根据客户的要求订制;

5、部分尺寸的产品可以根据客户要求做CVD涂层，降低产品的金属杂质;

应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中，对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用，是半导体晶圆装载系统的关键部件。