氧化物结合Sic和反应烧结碳化硅
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产品详情
碳化硅晶舟采用高温烧结之后,酸洗提纯工艺,可以大大降低碳化硅晶舟的金属杂质,使得碳化硅晶舟的碳化硅含量可以达到99.96%以上,根据客户需要也可以做化学气象沉积CVD涂层。
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